Детектор частиц для мониторинга чистой комнаты YOKOGAWA Europe CM505
Поскольку степень интеграции увеличений LSI и производство FPD двигается вперед, удаление газообразных загрязнителей, таких как аммиак и кислотные газы в чистой комнате стало важной проблемой. Чтобы справиться с этим требованием, контроль воздуха, удаление загрязнителей и периодическая проверка химической работы являются жизненной нормой. Типичный метод испытаний, проводимый с этой целью, называется impinger методом. Однако, у обычного impinger метода есть проблема – долгое время измерения и взаимное загрязнение оператором.
CM505 мониторит газы помещения понимая воздух онлайн, без загрязнений, комбинируя с impinger методом и имеет время измерения 1 час. Дополнительный тип мультипотока (16 точек) также доступен. Система может контролировать оба газа – аммиак (или катионы) и кислотные газы (анионы) в зависимости от требований.
Постовой:
Грамотная Разработка Web-приложений на РНР версий 5, 6.
admin 13.10.2010 в рубриках: Детекторы